日前,上海首台由上海电气集团股份有限公司(简称“上海电气”)下属上海微电子装备(集团)股份有限公司自主研发的电气代曝具有世界先进水平的首台平板显示6代投影曝光机正式发运。这对我国的制成制造平板显示制造产业及装备产业发展都有重大意义。
长期以来,国产光机国高我国平板显示制造的提升中高端设备主要依靠进口,特别是精密投影曝光机。全球仅日本的零件尼康公司和佳能公司掌握了这一技术。上微6代投影曝光机的上海首台成功开发,将彻底打破这一现状。电气代曝
应用于平板显示制造的制成制造投影曝光机极为复杂。该产品需要在1500mm×1850mm的国产光机国高区域内制作只有五十分之一头发直径的线条,且每根线条的提升位置精度要控制在一百五十分之一头发直径以内。上微用系统工程管理思想和方法来组织推进投影曝光机项目实施,精密坚持用产品化、零件工程化思想来进行产品研发,上海首台成功突破了投影曝光机的系统多、技术复杂性强、专利壁垒多等难题,成为全球第三家具备量产6代投影曝光机能力的公司,有力提升了我国高精密零件制造能力。
(责任编辑:综合)
“海基一号”平台主体工程海上安装完成 处于南海内波流主通道上
基石科技控股(08391.HK)完成配发6962.5万股 每股0.40港元
图解 eBPF socket level 重定向的内核实现细节
海关总署:前10月中美贸易总值3.95万亿元 对东盟出口2.5万亿元